Основные технические характеристики;

Принцип работы: ;интерферометрия по схеме Физо Оптическая схема: ;вертикальная Длина волны зондирующего излучения: ;632,8 нм Диаметр рабочей апертуры: ;≤ Ø 300 мм Тип ФПУ, многоэлементный фотоприемник с количеством пикселей: ;1024 х 1024 Кратность увеличения объектива: ;1–6 Х Метод выравнивания: ;по двум точкам Настройка угла обзора: ;±1,5° Принцип фазового сдвига: ;перестройка длины волны / механический (PZT) Специальное программно-математическое обеспечение анализа и сшивки фазовых картин и подготовки протокола результатов измерений ;есть