Основные технические характеристики;
Принцип работы: ;интерферометрия по схеме Физо
Оптическая схема: ;горизонтальная
Принцип фазового сдвига: ;перестройка длины волны / механический (PZT)
Длина волны зондирующего излучения: ;632,8 нм
Диаметр рабочей апертуры: ;≤ Ø 100 мм, ≤ Ø 300 мм
Тип ФПУ, многоэлементный фотоприемник: ;1К х 1К
Кратность увеличения объектива: ;1–6 Х
Параметр PV плоского эталона из состава поставки: ;λ/20 (Ф 100 мм)
Параметр PV плоского эталона из состава поставки: ;λ/20 (Ф 300 мм)
Метод выравнивания: ;точное выравнивание / быстрое выравнивание
Настройка угла обзора: ;±2°/ ±15°
Специальное программно-математическое обеспечение анализа и сшивки фазовых картин и подготовки протокола результатов измерений;есть