Основные технические характеристики;
Принцип работы: ; интерферометрия по схеме Физо
Длина волны зондирующего излучения: ; 632,8 нм
Диаметр рабочей апертуры: ; ≤ Ø 150 мм
Метод выравнивания: ; по двум точкам
Настройка угла обзора: ; ±1,5°
Параметр PV плоского эталона из состава поставки: ; λ/20
Принцип фазового сдвига: ; механический (PZT)
Специальное программно-математическое обеспечение анализа и сшивки фазовых картин и подготовки протокола результатов измерений ; есть