Основные технические характеристики;
Принцип работы: ;интерферометрия по схеме Физо
Оптическая схема: ;горизонтальная
Длина волны зондирующего излучения: ;632,8 нм
Диаметр рабочей апертуры: ;≤ Ø 200 мм
Тип ФПУ, многоэлементный фотоприемник с количеством пикселей: ;1024 х 1024
Кратность увеличения объектива: ;1–6 Х
Метод выравнивания: ;по двум точкам
Настройка угла обзора: ;±2°
Принцип фазового сдвига: ;механический (PZT)
Параметр PV плоского эталона из состава поставки: ;λ/20
Специальное программно-математическое обеспечение анализа и сшивки фазовых картин и подготовки протокола результатов измерений ;есть